고압용
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Equilibar EPR Series - 고압용
제품특징
Equilibar EPR 시리즈는 정밀 전자 제어 압력 및 진공 레귤레이터 입니다.
EPR은 closed volume 내에서 또는 유량이 낮은 시스템에서 High-Resolution으로 압력 또는 진공을 정확하게 제어합니다.
이중 밸브 기술은 고가의 가스 손실을 최소화하면서 압력을 제어합니다.
■ 어플리케이션
- 산업용 압력 제어 어플리케이션
- 반도체 제조 라인 정밀 제어 어플리케이션
- 촉매 연구용 리액터
- 백프레셔 기준 압력 세팅
제품 특 장점 요약
■ 최고의 안정성을 위해 인&아웃 밸브 모두 비례밸브 사용
■ 안정 상태에서 가스를 낭비하지 않음
■ 0.25%의 정확도로 매우 높은 Resolution
■ 디지털 또는 아날로그 통신
■ 키패드를 이용한 손쉬운 제어
